MEMS의 기초

* MEMS의 기초

CHANG LIU/한티미디어-650쪽-2009년9월1일

 정가 : 32,000 원-판매가 : 19,000 원

책상태-모서리 접혔던 흔적외 양호함.

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『MEMS의 기초』는 CHANG LIU의 저서로 기술공학 분야의 전문서적.

총 16개의 CHAPTER로 구성되어 있고, 센서와 액추에이터를 포함하여

전기기계 트랜스듀서를 설계하는, 학문 분야의 경계를 넘는 중요한 지식

을 얻을 수 있도록 도와준다.

목차

CHAPTER 01 소개 CHAPTER 02 미세 제작 기술
CHAPTER 03 전기적ㆍ기계적 필수 개념의 소개
CHAPTER 04 정전기적 센싱과 액추에이션
CHAPTER 05 열 센싱과 액추에이션 CHAPTER 06 압저항 센서
CHAPTER 07 압전 센싱 및 액추에이션
CHAPTER 08 자기 액추에이션
CHAPTER 09 센싱과 액추에이션 요약
CHAPTER 10 벌크 미세 가공 기술과 실리콘 비등방성 식각
CHAPTER 11 표면 미세 가공 CHAPTER 12 폴리머 MEMS
CHAPTER 13 마이크로 유체공학의 응용
CHAPTER 14 주사 프로브 현미경을 위한 기기
CHAPTER 15 광학 MEMS CHAPTER 16 MEMS 기술경영
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