반도체공학 (반도체 공학과 공정실무)

* 반도체공학 (반도체 공학과 공정실무)

엄금용/기전연구사-384쪽-2012년9월7일

정가 : 15,000 원-판매가 : 7,000 원

책상태-2권 있고, 몇장 밑줄 및 노트 있음.

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반도체 분야를 공부하는 대학생 및 대학원생, 실무자들을 위한 『반도체공학』.

미래정보화 사회에서 요구하는에 반도체공학에 관한 기초이론과 반도체 관련 산업

분야에서 실제 연구되거나 제조되는 데이터를 근거로 삼아 전문지식을 제공한다.

차례

제1장 반도체공학의 기초 제2장 산화공정 & 확산공정

제3장 포토리소그래피(Photolithography) 공정

제4장 식각공정(Etch) 및 세정공정(Cleaning)
제5장 이온주입 공정(Ion Implantation) 제6장 화학기상증착(CVD) 공정
제7장 금속(Metalization) 공정 제8장 반도체 측정(Test) 및 분석(Analysis)